MEMpax®
La polyvalence du verre borosilicate MEMpax® résulte de son procédé de production d'étirage vers le bas qui permet d’obtenir des surfaces parfaitement lisses. Associé à une faible planéité et à une grande homogénéité, dans un vaste et remarquable portefeuille de propriétés des matériaux, le MEMpax® ouvre la voie à de nombreuses applications dans les domaines de l’électronique et de la biotechnologie.
Capteurs de pression
Le MEMpax® est idéal pour une utilisation dans les capteurs de pression. Disponible sous forme de wafer non poli et structuré, le MEMpax® agit comme un support de puce MEMS fonctionnelle. Ceux-ci sont largement utilisés dans les secteurs de l’automobile, de l’industrie, des transports et de la santé, où SCHOTT a établi une présence de longue date et de confiance
Miroirs MEMS
En raison de ses propriétés thermiques, optiques, cosmétiques et géométriques uniques, MEMpax® est largement utilisé comme fenêtre dans diverses applications de miroir MEMS. Une correspondance thermique avec le silicium offre la possibilité d’une liaison anodique pour obtenir des boîtiers hermétiques, tandis que la disponibilité d'épaisseurs faibles permet de réduire les facteurs de forme et d'améliorer la conception des applications optiques. De plus, la surface parfaite permet d'être revêtue de couches antireflet performantes.
Encapsulation de circuits intégrés RF
Parmi tous les verres fins du marché, le verre SCHOTT MEMpax® possède la plus faible constante diélectrique ; il est idéal pour les applications impliquant des fréquences très élevées (>30 GHz). En raison de sa faible rugosité et de sa faible variation d’épaisseur totale (TTV), le verre MEMpax® constitue un excellent choix pour les circuits intégrés de radiofréquence.
Diagnostic et biotechnologie
Une sensibilité optimale est essentielle dans les domaines du diagnostic et de la biotechnologie. La transmission optique élevée et la faible auto-fluorescence du verre SCHOTT MEMpax® en font un produit idéal pour une utilisation dans de multiples dispositifs et équipements. Qu’il s’agisse de substrats pour biopuce, de micro-fluidique ou de systèmes Lab On A Chip, le MEMpax® offre un faible rapport signal/bruit et une surface d'une excellente qualité.
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