Substrate und Wafer
SCHOTT bietet eine Reihe von Substraten und Wafern für neue Technologien im Bereich der Halbleiterfertigung an. Diese Wafer ermöglichen es unseren Kunden in Anwendungen wie 3D-Bildgebung und Sensorik, MEMS und Wafer-Level-Packaging, Hochleistungskomponenten zu miniaturisieren und intelligentere Geräte zu bauen.
3D-Bildgebung und Sensorik
Glaswafer spielen in der schnelllebigen Welt des 3D-Bildgebung und Sensorik eine wichtige Rolle. Sie eignen sich als Substrate oder Wafer sowie als Infrarot-Schmalbandfilter. Kunden können damit Sensoren für strukturiertes Licht und Time of Flight (ToF) sowie Komponenten für das Stereo Vision bauen, die Gesichtserkennung und Abstandserkennung ermöglichen.
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Wafer-Level-Packaging
Glaswafer können in einer Vielzahl von Wafer-Level-Packaging-Prozessen verwendet werden. So hat ein Wafer mit aufgebrachter IR-Sperrfilterbeschichtung die Funktion, einen Bildsensor vor den schädlichen Auswirkungen von Infrarotstrahlung zu schützen. Zu den Vorteilen von Glaswafern gehören eine enge thermische Übereinstimmung mit Silizium sowie hochpräzise Toleranzen.
Glas Carrier Wafer für 3D IC, RF IC und Fan-Out-Packaging
SCHOTT Substrate und Wafer eignen sich als hochgenaue Trägermaterialien für das temporäre Bonding mit Silizium in 3D IC, RF IC und Fan-out-Packaging. Auch das Ausdünnen von Silizium und das Handling dünner Siliziumwafer werden durch Glas Carrier Wafer ermöglicht.
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MEMS
Immer mehr mikroelektromechanische Systeme (MEMS) basieren auf Glaswafern. Sie werden als transparente optische Fenster oder als Funktionskappen für hermetische Gehäuse verwendet und haben einen ähnlichen CTE wie Silizium-Wafer, was die Möglichkeit des anodischen Bondens eröffnet. Ein weiterer Vorteil ist der geringe dielektrische Verlust. Glaswafer spielen bei RF- und Hochfrequenzanwendungen eine ebenso wichtige Rolle wie SAW-Filter, die in der 5G-Kommunikation eingesetzt werden.
Mikrofluidik
Moderne Diagnostikanwendungen wie die Mikrofluidik sind auf Materialien mit hohen optischen Eigenschaften und geringer Eigenfluoreszenz angewiesen, um die hohe analytische Genauigkeit zu erreichen, die von Biowissenschaften und Biotechnologie verlangt wird. SCHOTT Substrate und Wafer bieten hervorragend glatte, feuerpolierte Oberflächen für Beschichtungen, was eine einfachere und kostengünstigere Verarbeitung ermöglicht.
Microdisplays
Da Entwickler die Möglichkeiten der Bildgebungstechnologie weiter ausbauen, werden SCHOTT Glaswafer immer wichtiger. Neben der herausragenden Qualität unserer Produkte ist das Potenzial zur Miniaturisierung von Glaswafern für immer winzigere und leichtere Displays für die Industrie von großem Nutzen. MicroOLED-, MicroLED- und LCOS-Bildschirme sind darauf angewiesen, während sie auch in NTE-Geräten, HUDs, HMDs und AR/VR-Geräten zu finden sind.
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